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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
Authors:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  Favorite  |  View/Download:10/0  |  Submit date:2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
Authors:  宋楠
Adobe PDF(2863Kb)  |  Favorite  |  View/Download:56/2  |  Submit date:2015/11/30
大光栅刻划机  刻划系统  光栅刻线弯曲误差  机械修正方法  气浮导轨  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
Authors:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  Favorite  |  View/Download:53/13  |  Submit date:2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度  
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
Authors:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
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Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
Authors:  Mi, X.;  H. Yu;  J. Gao;  H. Yu;  S. Zhang and X. Qi
Adobe PDF(672Kb)  |  Favorite  |  View/Download:61/7  |  Submit date:2016/08/24
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  Favorite  |  View/Download:254/2  |  Submit date:2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制  
压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  孙孔政
Adobe PDF(2255Kb)  |  Favorite  |  View/Download:174/3  |  Submit date:2014/03/15
压电陶瓷  迟滞特性  Duhem模型  逆补偿  Labview Fpga  
机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  李晓天
Adobe PDF(3561Kb)  |  Favorite  |  View/Download:178/2  |  Submit date:2013/08/26
新型高精度二维微调平台结构研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  聂晓倩
Microsoft Word(8185Kb)  |  Favorite  |  View/Download:207/2  |  Submit date:2012/05/11
基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  于海利
Microsoft Word(23839Kb)  |  Favorite  |  View/Download:143/3  |  Submit date:2012/04/01