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| 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者: 张旭; 赖磊捷; 李朋志 ; 朱利民
 Adobe PDF(1955Kb) |  收藏 | 浏览/下载：149/44 | 提交时间：2022/06/29 |
| Closed-loop inverse iterative learning control in frequency-domain for electromagnetic driven compliant micro-positioning platform 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 2149-2157
作者: X. Zhang; L.-J. Lai; P.-Z. Li and L.-M. Zhu
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| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
caj(5660Kb) | 收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2019/09/23
衍射光栅 光栅刻划机 微定位系统 控制器设计 刻线误差 测量系统 余弦误差 阿贝误差 大气折射率 衍射波前 基底面形误差 镀膜均匀性 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者: 糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东
caj(515Kb) | 收藏 | 浏览/下载：308/93 | 提交时间：2016/07/06
微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang
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| Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者: Mi, X.; H. Yu; J. Gao; H. Yu; S. Zhang and X. Qi
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| 压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵广义
Adobe PDF(1437Kb) | 收藏 | 浏览/下载：508/2 | 提交时间：2015/05/03
压电陶瓷 两维摆镜 动态迟滞模型 前馈pid 控制 |
| 压电陶瓷系统迟滞非线性建模与控制的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 孙孔政
Adobe PDF(2255Kb) | 收藏 | 浏览/下载：378/3 | 提交时间：2014/03/15
压电陶瓷 迟滞特性 Duhem模型 逆补偿 Labview Fpga |
| 一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 3
作者: 孙宝玉; 刘虹; 梁淑卿
caj(89Kb) | 收藏 | 浏览/下载：423/78 | 提交时间：2012/09/25
微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字闭环控制 |
| 压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制 期刊论文
仪器仪表学报, 1999, 期号: 01, 页码: 92-93+108
作者: 吴一辉; 杨宜民
caj(56Kb) | 收藏 | 浏览/下载：356/57 | 提交时间：2013/03/12
压电定位 电荷控制 谐波线性化 |
