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Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018, 卷号: 57, 期号: 31, 页码: 9455-9463
Authors:  Lv, Qiang;  Liu, Zhaowu;  Wang, Wei;  Li, Xiaotian;  Li, Shuo;  Song, Ying;  Yu, Hongzhu;  Bayanheshig;  Li, Wenhao
View  |  Adobe PDF(1611Kb)  |  Favorite  |  View/Download:26/8  |  Submit date:2019/08/26
laser  nonlinearity  encoder  errors  stage  Optics  
Seya-Namioka单色仪中光栅曲率半径误差的影响及补偿 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 04, 页码: 623-629
Authors:  孟竹;  谭鑫;  巴音贺希格;  王玮;  刘兆武;  赵旭龙
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曲率半径误差  Seya-Namioka光栅  光线追迹  使用参数  误差补偿  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
Authors:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
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位移测量  光栅  衍射干涉  高精度  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
Authors:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  Favorite  |  View/Download:46/14  |  Submit date:2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
Authors:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
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测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪