光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

doi:1F05C42672BAA1DF5E5292541F9D23B6

	光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法
	糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
	2017
发表期刊	中国激光
页码	148-156
摘要	衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一,光栅刻划机若存在阿贝误差,将直接影响刻线位置精度,从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型,并分析了该误差对波前质量的影响。针对该误差设计了一种基于双频激光干涉测量的阿贝误差测量光路,测量了刻划机的阿贝误差,根据物理模型对其导致的光栅衍射波前误差作了仿真分析,并提出了基于双层工作台结构的误差控制校正方法。对两块尺寸为80mm×100mm、刻线密度为79groove/mm的中阶梯光栅进行了阿贝误差校正前后的对比刻划实验。结果表明,通过对阿贝误差的测量和校正,光栅闪耀级次为-36级的衍射波前误差由0.529λ降低至0.159λ(λ=632.8nm),有效地降低了阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响。
关键词	衍射光栅阿贝误差衍射波前刻线位置误差刻划机
DOI	1F05C42672BAA1DF5E5292541F9D23B6
语种	中文
引用统计
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58768
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	糜小涛,于海利,于宏柱,等. 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法[J]. 中国激光,2017:148-156.
APA	糜小涛,于海利,于宏柱,齐向东,李晓天,&万秋华.(2017).光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法.中国激光,148-156.
MLA	糜小涛,et al."光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法".中国激光 (2017):148-156.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影（3271KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载