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利用正交位移测量系统进行六自由度并联机构参数标定 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 316-328
作者:  杨利伟;  鲍赫;  樊延超;  李志来;  董得义
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Parameter calibration of 6-dof parallel mechanism using orthogonal displacement measurement system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 316-328
作者:  L.-W. Yang;  H. Bao;  Y.-C. Fan;  Z.-L. Li and D.-Y. Dong
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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/92  |  提交时间：2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：74/23  |  提交时间：2021/07/06
大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
caj(23894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/0  |  提交时间：2019/09/23
光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
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衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/117  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/116  |  提交时间：2018/06/13
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/124  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
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柔性机构  伪刚体模型  传感器  线性度  标定