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大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
Authors:  姚雪峰
caj(23894Kb)  |  Favorite  |  View/Download:26/0  |  Submit date:2019/09/23
光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
Authors:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  Favorite  |  View/Download:16/0  |  Submit date:2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
Authors:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
Adobe PDF(3436Kb)  |  Favorite  |  View/Download:82/21  |  Submit date:2018/06/13
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
Authors:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
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衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
Authors:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
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双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
Authors:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
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柔性机构  伪刚体模型  传感器  线性度  标定  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
Authors:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
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电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
Authors:  Zhang, D.-F.;  C. Ge;  X.-L. Li;  M.-Y. Ni and K. Guo
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Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
Authors:  Zhang, D.;  X. Li;  C. Ge;  M. Ni and K. Guo
Adobe PDF(4471Kb)  |  Favorite  |  View/Download:68/9  |  Submit date:2017/09/11
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
Authors:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗;  李朋志
caj(686Kb)  |  Favorite  |  View/Download:55/13  |  Submit date:2016/07/06
传感器  标定  线性度  柔度矩阵