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大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 03, 页码: 542-551
作者:  杨国军;  齐向东;  于海利;  李晓天;  张善文;  糜小涛;  于宏柱
caj(566Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:130/34  |  提交时间:2020/08/24
光栅拼接  误差检测  误差分离  相位校正  拼接装置