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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：544/117  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/124  |  提交时间：2016/07/06
光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器  
光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:  李晓天;  于海利;  齐向东;  朱继伟;  于宏柱;  巴音贺希格
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/103  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  Bp神经网络  Pid控制  自适应控制