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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
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机刻光栅  复合基底  残余应力  薄膜  压痕  模拟  
微型光纤光谱仪的光谱线性响应测试研究 期刊论文
中国测试, 2020, 卷号: 46, 期号: 04, 页码: 130-135
作者:  崔继承;  朱继伟;  杨晋;  马婷婷;  崔弘;  郭雪强
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光谱  光谱仪  线阵CCD  切尼尔-特纳结构  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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Development of high-temperature resistant incremental encoder 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 1458-1464
作者:  Q.-Y.Han;  Y.Chen;  H.-S.Zhang;  S.-Y.Gao;  X.Zhang
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Signal encoding,Fibers,Field programmable gate arrays (FPGA),Lenses,Light emitting diodes  
Design of signal processing system for spaceborne reflection photoelectric encoder 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2019, 卷号: 48
作者:  Q.Han;  Y.Chen;  H.Zhang;  S.Gao;  X.Zhang
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Codes (symbols),Data handling,Field programmable gate arrays (FPGA),Photoelectricity,Reflection  
大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
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光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
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衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：213/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
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Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching