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| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
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位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
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全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
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光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
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光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文
, 2016
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹
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高斯光束 振幅调制 相位调制 角谱 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
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激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| MEMS陀螺随机误差特性研究及补偿 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 4, 页码: 501-510
作者: 张玉莲; 储海荣; 张宏巍; 张明月; 陈阳; 李银海
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Mems陀螺 随机误差 Allan方差 Ar模型 Kalman滤波 |
| 不同光栅常数下同心长波红外成像光谱仪对比 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 7, 页码: 148-153
作者: 孙佳音; 李淳 ; 刘英; 李灿; 王建; 刘建卓; 孙强
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光谱学 长波红外 成像光谱仪 光栅常数 同心结构 |
| 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者: 郭本银; 谢耀; 于杰; 王丽萍; 苗亮
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测量 长期稳定性 敏感矩阵 奇异值分解 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
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成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
