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基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器的理论分析 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1368-1377
作者:  张淑芬;  姜珊;  董磊;  王建立;  吴娜;  李文昊
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基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:  李舒航;  高旭;  刘兆武;  胡文浩
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Algorithm for Sub-Pixel Detection of Fringe Image Displacement Based on Gray-Level Interpolation 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2021, 卷号: 41, 期号: 10
作者:  S. Li;  X. Gao;  Z. Liu and W. Hu
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
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光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:  高旭;  李舒航;  马庆林;  陈伟
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位移测量  光栅  高精度测量  衍射干涉  
Development of grating-based precise displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752
作者:  X.Gao;  S.-H.Li;  Q.-L.Ma;  W.Chen
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Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
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Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
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测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者:  吕强;  李文昊;  巴音贺希格;  柏杨;  刘兆武;  王玮
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位移测量  光栅  衍射干涉  高精度