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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
Authors:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
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变步长搜索的计算全息图编码方法 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 02, 页码: 368-374
Authors:  邱宏伟;  金春水;  于杰;  刘钰;  张海涛;  王丽萍;  孙诗壮
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一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
Authors:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
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测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
Authors:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
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测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
Authors:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
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光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
Authors:  邵晶;  马冬梅;  张海涛;  于杰;  周烽
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光学检测  点衍射干涉仪  相位复原  衍射波前  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
Authors:  代晓珂;  金春水;  于杰
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光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析  
微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
Authors:  谢耀;  于杰;  王丽萍;  王辉;  周烽
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微缩投影系统  集成装调  计算机辅助装调  敏感度矩阵  奇异值分解  
一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
Inventors:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
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高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
Authors:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
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测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑