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| 光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文
, 2016
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹
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高斯光束 振幅调制 相位调制 角谱 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
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激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| MEMS陀螺随机误差特性研究及补偿 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 4, 页码: 501-510
作者: 张玉莲; 储海荣; 张宏巍; 张明月; 陈阳; 李银海
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Mems陀螺 随机误差 Allan方差 Ar模型 Kalman滤波 |
| 不同光栅常数下同心长波红外成像光谱仪对比 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 7, 页码: 148-153
作者: 孙佳音; 李淳 ; 刘英; 李灿; 王建; 刘建卓; 孙强
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光谱学 长波红外 成像光谱仪 光栅常数 同心结构 |
| 一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者: 郭本银; 谢耀; 于杰; 王丽萍; 苗亮
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测量 长期稳定性 敏感矩阵 奇异值分解 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
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成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
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测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
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光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin
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| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin
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