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月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性 期刊论文
激光杂志, 2021, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 24-29
作者:  李云鹏;  陈波;  吕鹏;  杨洪臣;  王华朋
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵
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薄膜光学  薄膜表征  掠入射X射线反射  云模型量子进化算法  极紫外多层膜  单层膜  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/117  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:  周祥燕;  张超;  匡尚奇;  龚学鹏;  杨海贵
caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/125  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  薄膜表征  量子衍生遗传算法  掠入射x射线反射  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/122  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
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极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
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薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线