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基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵
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薄膜光学  薄膜表征  掠入射X射线反射  云模型量子进化算法  极紫外多层膜  单层膜  
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:  周祥燕;  张超;  匡尚奇;  龚学鹏;  杨海贵
caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/125  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  薄膜表征  量子衍生遗传算法  掠入射x射线反射  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/62  |  提交时间：2017/09/11
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：504/125  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外