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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
Adobe PDF(985Kb)
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
匡尚奇
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:170/0
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提交时间:2019/09/17
多层膜设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Kuang, S.-Q.
;
C. Zhang
;
Y.-M. Wang
;
X.-Y. Zhou and Y. Xie
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浏览/下载:282/81
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提交时间:2018/06/13
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
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提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:
Yu, B.
;
C. Li
;
C. Jin and C. Wang
Adobe PDF(1342Kb)
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提交时间:2017/09/11
太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
刘壮
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提交时间:2014/08/21
极紫外多层膜光栅技术研究进展
期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:
张立超
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提交时间:2012/05/11
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备
期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:
姚志华
;
金春水
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杨雄
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张立超
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金伟华
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曹健林
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
宽带多层膜
评价函数
遗传算法
磁控溅射
软X射线宽带多层膜设计与实验
期刊论文
科学通报, 1999, 期号: 09, 页码: 930-933
作者:
王占山
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柯常军
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马月英
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张铁强
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曹健林
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陈星旦
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提交时间:2013/03/11
软x射线
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