Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 | |
张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
| |
| 2017 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 页码 | 347-355 |
| 摘要 | 提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法。采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQEA对宽角度Mo/Si多层膜进行了理论设计和分析,发现RQEA具有种群规模小、搜索效率高和求解精度高的明显优势,体现出RQEA在光学薄膜设计领域的潜在应用价值。同时,设计出入射光波长为13.5nm、在入射角0°~18°范围内反射率可达50%的宽反射带Mo/Si多层膜。 |
| 关键词 | 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| DOI | 371248C6844567664D065AB9C16F3FA2 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58606 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张超,张杰瑞,王一名,等. 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计[J]. 光学学报,2017:347-355. |
| APA | 张超,张杰瑞,王一名,匡尚奇,&谢耀.(2017).基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计.光学学报,347-355. |
| MLA | 张超,et al."基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计".光学学报 (2017):347-355. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计（892KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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