Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 | |
王一名; 张超; 孙秀平; 匡尚奇; 杨海贵
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| 2018 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 04页码:20-24+30 |
| 摘要 | 掠入射X射线反射(GIXR)是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合精度差的问题,本文将云模型与量子进化算法相结合,提出了一种基于云模型量子进化算法(CQEA)的薄膜微观结构表征方法,并将该算法应用于Si单层膜和周期极紫外Mo/Si多层膜的表征之中,并将其拟合结果与基于进化算法的拟合结果进行对比。分析表明,CQEA具有种群规模小、收敛速度快和拟合精度高的优势,同时给出的薄膜结构参数值精度更高。相关研究工作体现了CQEA应用于薄膜微观结构表征中的可行性与优越性,为基于GIXR的薄膜微观结构表征提供一种更优选的拟合求解方法。 |
| 关键词 | 薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61395 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王一名,张超,孙秀平,等. 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2018(04):20-24+30. |
| APA | 王一名,张超,孙秀平,匡尚奇,&杨海贵.(2018).基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征.长春理工大学学报(自然科学版)(04),20-24+30. |
| MLA | 王一名,et al."基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征".长春理工大学学报(自然科学版) .04(2018):20-24+30. |
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