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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知... [16]
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杨海贵 [3]
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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
匡尚奇
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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提交时间:2019/09/17
多层膜设计
极紫外
离散化设计
宽带多层膜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:
张超
;
张杰瑞
;
王一名
;
匡尚奇
;
谢耀
caj(892Kb)
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提交时间:2018/04/09
薄膜
多层膜设计
量子进化算法
宽角度极紫外多层膜
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Kuang, S.-Q.
;
C. Zhang
;
Y.-M. Wang
;
X.-Y. Zhou and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:
Wang, Y.
;
Q. Lu and Y. Gao
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提交时间:2018/06/13
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:
Song, Y.
;
Q.-P. Lu
;
X.-P. Gong
;
Y. Wang and Z.-Q. Peng
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提交时间:2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, C.
;
J. Zhang
;
Y. Wang
;
S. Kuang and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:
梅雪峰
;
匡尚奇
;
谢耀
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提交时间:2017/09/17
Euv多层膜
量子进化算法
膜系设计