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极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
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薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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氮化铝压电薄膜的反应磁控溅射制备与性能表征 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  毕晓猛
Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：741/1  |  提交时间：2014/08/21
GaN缓冲层对直流反应磁控溅射AlN薄膜的影响(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1089-1094
作者:  王新建;  宋航;  黎大兵;  蒋红;  李志明;  缪国庆;  陈一仁;  孙晓娟
caj(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：706/183  |  提交时间：2013/03/11
Aln  Gan缓冲层  晶体结构  晶粒尺寸  
直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备AlN薄膜(英文) 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 02, 页码: 227-232
作者:  王新建;  宋航;  黎大兵;  蒋红;  李志明;  缪国庆;  孙晓娟;  陈一仁;  贾辉
caj(337Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：672/150  |  提交时间：2013/03/11
晶体结构  光吸收  表面形貌  
Deposition of AlN films on nitrided sapphire substrates by reactive DC magnetron sputtering 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2012, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 227-232
作者:  Wang X.-J.;  Song H.;  Li D.-B.;  Jiang H.;  Li Z.-M.;  Miao G.-Q.;  Sun X.-J.;  Chen Y.-R.;  Jia H.
Adobe PDF(446Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：647/105  |  提交时间：2013/03/27