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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵
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薄膜光学  薄膜表征  掠入射X射线反射  云模型量子进化算法  极紫外多层膜  单层膜  
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
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薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
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薄膜  多层膜设计  量子进化算法  宽角度极紫外多层膜  
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:  Kuang, S.-Q.;  C. Zhang;  Y.-M. Wang;  X.-Y. Zhou and Y. Xie
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Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
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Optimization selection of test points on complex equipment for discrete firefly algorithm 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 5
作者:  Wang, H.-Q.;  W.-G. Wang;  L.-H. Guo;  T.-X. Liu;  R.-Q. Jiang and H.-J. Yu
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量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  梅雪峰;  匡尚奇;  谢耀
caj(1233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/161  |  提交时间：2017/09/17
Euv多层膜  量子进化算法  膜系设计