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| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
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薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
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薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠
收藏 | 浏览/下载：252/0 | 提交时间：2017/09/17
薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
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光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：441/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘壮
Adobe PDF(4507Kb) | 收藏 | 浏览/下载：365/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者: 刘震; 高劲松; 陈波; 王彤彤; 王笑夷; 申振峰; 陈红
caj(497Kb) | 收藏 | 浏览/下载：454/125 | 提交时间：2014/03/07
极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 反射率 等离子体层 |
