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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：210/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  樊孝贺
caj(4313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：172/0  |  提交时间：2020/08/24
短相干  菲索型  动态干涉仪  条纹图配准  相位解包裹  误差补偿  
集成光学移相干涉仪的研制与性能表征 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 224-228
作者:  郝寅雷;  丁君珂;  陈浩;  蒋建光;  孟浩然;  刘欣悦
caj(2000Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：262/48  |  提交时间：2020/08/24
移相干涉仪  综合孔径望远镜  集成光学  光波导  
拼接光栅型宽波段高分辨率空间外差拉曼光谱仪器对背向散射拉曼光谱的探测 期刊论文
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 06, 页码: 758-764
作者:  邱俊;  齐向东;  李晓天
caj(757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：198/34  |  提交时间：2020/08/24
拉曼与光学光谱  激光应用  光学仪器与设备  干涉仪  
采用整体最小二乘法的条纹图配准方法 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 625-632
作者:  穆治亚;  艾华;  樊孝贺;  何昕;  何丁龙;  韩冬松;  于国栋
caj(343Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/126  |  提交时间：2017/09/17
共光路动态干涉仪  条纹图配准  整体最小二乘法  
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：497/118  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/101  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/145  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/128  |  提交时间：2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/114  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦