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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:
Dong, Guanji
;
Tang, Feng
;
Wang, Xiangzhao
;
Feng, Peng
;
Guo, Fudong
;
Peng, Changzhe
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
CCD cameras
Diffraction
Imaging systems
Measurement
Uncertainty analysis
成像系统倍率高精度测量技术研究
期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:
董冠极
;
唐锋
;
王向朝
;
冯鹏
;
郭福东
;
彭常哲
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提交时间:2019/09/17
测量
倍率
Zernike多项式
点衍射干涉法
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:
赵磊
;
梁超
;
张德福
;
东立剑
;
彭海峰
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提交时间:2017/09/17
柔顺并联机构
光学元件微动调整
位姿正解
伪刚体模型
矢量代数法
雅克比矩阵
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试
期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:
彭海峰
;
于新峰
;
秦硕
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提交时间:2017/09/17
测量
投影物镜
恒温水套
热像差
温度测试
精密光学系统的热像差
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:
张巍
;
于新峰
;
周连生
;
王学亮
;
倪明阳
;
彭海峰
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提交时间:2016/07/06
精密光学系统
激光辐照
投影光刻物镜
热像差
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:
赵磊
;
彭海峰
;
于新峰
;
东立剑
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提交时间:2016/07/06
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析
期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:
彭海峰
;
孙振
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提交时间:2015/04/17
光刻物镜
光学元件
精密轴向调节
面形分析
柔顺铰链
固有频率特性
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析
期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:
彭海峰
;
巩岩
;
赵磊
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提交时间:2014/03/07
光刻投影物镜
多弹片支撑结构
自重变形
面形分析
超弹性蒙皮蜂窝芯的设计及等效模量研究
期刊论文
中国机械工程, 2012, 期号: 06, 页码: 717-720
作者:
彭海峰
;
董二宝
;
张世武
;
杨杰
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提交时间:2013/03/11
智能变形飞行器
超弹性蒙皮结构
蜂窝芯结构
等效弹性模量
柔性轴FSM控制技术综述
期刊论文
光机电信息, 2008, 期号: 2
作者:
陈娟
;
彭海峰
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提交时间:2012/09/25
复合轴
快速反射镜
柔性轴