中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/90  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性