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基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
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柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
caj(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/129  |  提交时间:2016/07/06
精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差