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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [4]
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期刊论文 [4]
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2014 [1]
2013 [1]
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中文 [4]
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光学精密工程 [1]
光电工程 [1]
激光与光电子学进展 [1]
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基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:
赵磊
;
梁超
;
张德福
;
东立剑
;
彭海峰
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浏览/下载:364/103
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提交时间:2017/09/17
柔顺并联机构
光学元件微动调整
位姿正解
伪刚体模型
矢量代数法
雅克比矩阵
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试
期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:
彭海峰
;
于新峰
;
秦硕
caj(1581Kb)
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浏览/下载:335/102
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提交时间:2017/09/17
测量
投影物镜
恒温水套
热像差
温度测试
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析
期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:
彭海峰
;
孙振
caj(500Kb)
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浏览/下载:247/90
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提交时间:2015/04/17
光刻物镜
光学元件
精密轴向调节
面形分析
柔顺铰链
固有频率特性
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析
期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:
彭海峰
;
巩岩
;
赵磊
caj(1322Kb)
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浏览/下载:358/85
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提交时间:2014/03/07
光刻投影物镜
多弹片支撑结构
自重变形
面形分析