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Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
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Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
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测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/103  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/102  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
caj(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/129  |  提交时间：2016/07/06
精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差  
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：310/76  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/90  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/85  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析  
超弹性蒙皮蜂窝芯的设计及等效模量研究 期刊论文
中国机械工程, 2012, 期号: 06, 页码: 717-720
作者:  彭海峰;  董二宝;  张世武;  杨杰
caj(464Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：465/128  |  提交时间：2013/03/11
智能变形飞行器  超弹性蒙皮结构  蜂窝芯结构  等效弹性模量  
柔性轴FSM控制技术综述 期刊论文
光机电信息, 2008, 期号: 2
作者:  陈娟;  彭海峰
Unknown(1267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/199  |  提交时间：2012/09/25
复合轴  快速反射镜  柔性轴