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Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  C. Ge;  M. Ni and K. Guo
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Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431
作者:  Guo, K.;  M.-Y. Ni;  Z. Sun;  H.-N. Chen and D.-P. Wang
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极微小电容的检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  冯佳
Adobe PDF(1873Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/2  |  提交时间：2015/05/03
电容传感器  电容检测  交流激励式  电容桥  开关检波  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：247/90  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性  
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/83  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss