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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：867/183  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/102  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/123  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
可调支撑力对光学元件面形的影响 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 12, 页码: 186-192
作者:  吴志会;  王东平;  华洋洋;  倪明阳;  东立剑
caj(1472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/98  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  可调支撑结构  面形  有限元法  Zernike多项式  
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/120  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
超精密光刻物镜缓冲包装设计 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 6-9+17
作者:  东立剑;  袁文全;  吴志会;  倪明阳;  张巍
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：412/176  |  提交时间：2016/07/06
物镜镜组  数值模拟  跌落分析  实验验证  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/83  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/106  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法