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可调支撑力对光学元件面形的影响 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 12, 页码: 186-192
作者:  吴志会;  王东平;  华洋洋;  倪明阳;  东立剑
caj(1472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/75  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  可调支撑结构  面形  有限元法  Zernike多项式  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析