Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超精密光刻物镜缓冲包装设计 | |
东立剑 ; 袁文全; 吴志会; 倪明阳; 张巍
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| 2015-08-24 | |
| 发表期刊 | 机械与电子
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| 期号 | 08页码:6-9+17 |
| 摘要 | 采用数值模拟的方法开展光刻物镜镜组的跌落分析,结合数值寻优的方式,以光刻物镜所能承受的最大加速度为约束条件确定缓冲结构的尺寸参数,并通过跌落实验验证数值仿真的准确性与可靠性,进而指导超精密光刻物镜缓冲包装的参数设计。利用此方法对质量为10kg、镜片口径为160mm,径厚比为8.89光刻物镜镜组进行缓冲结构设计,实验结果表明,其从10cm高度跌落后最大加速度为4.4 g,面形变化仅为0.36nm,满足超精密光学设备的动力学指标要求。 |
| 关键词 | 物镜镜组 数值模拟 跌落分析 实验验证 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53442 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 东立剑,袁文全,吴志会,等. 超精密光刻物镜缓冲包装设计[J]. 机械与电子,2015(08):6-9+17. |
| APA | 东立剑,袁文全,吴志会,倪明阳,&张巍.(2015).超精密光刻物镜缓冲包装设计.机械与电子(08),6-9+17. |
| MLA | 东立剑,et al."超精密光刻物镜缓冲包装设计".机械与电子 .08(2015):6-9+17. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 超精密光刻物镜缓冲包装设计.caj（306KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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