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| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3 作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:338/108  |  提交时间:2018/06/13 |
| 电容传感器线性度标定平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗 caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/90  |  提交时间:2017/09/17 电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 |
| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo 浏览  |  Adobe PDF(4471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:302/67  |  提交时间:2017/09/11 |
| Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1 作者: Zhang, D.-F.; C. Ge; X.-L. Li; M.-Y. Ni and K. Guo 浏览  |  Adobe PDF(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/98  |  提交时间:2017/09/11 |
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗; 李朋志 caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:301/82  |  提交时间:2016/07/06 传感器 标定 线性度 柔度矩阵 |
| 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39 作者: 张德福; 李显凌; 东立剑; 孙振 caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:274/78  |  提交时间:2016/07/06 耦合误差 光刻 物镜 偏心调节机构 柔度矩阵法 |
| Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988 作者: Zhang, D.; C. Ge; X. Li; M. Ni; K. Guo and P. Li 浏览  |  Adobe PDF(823Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/102  |  提交时间:2016/08/24 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊 Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:303/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794 作者: 张德福; 孙振 caj(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:210/64  |  提交时间:2015/04/17 光刻投影物镜 位移缩小机构 完全解耦 波像差 |
| 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298 作者: 张德福; 李显凌 caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:410/84  |  提交时间:2015/04/17 光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形 |