中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
可调支撑力对光学元件面形的影响 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 12, 页码: 186-192
作者:  吴志会;  王东平;  华洋洋;  倪明阳;  东立剑
caj(1472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：271/75  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  可调支撑结构  面形  有限元法  Zernike多项式  
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/77  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
超精密光刻物镜缓冲包装设计 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 6-9+17
作者:  东立剑;  袁文全;  吴志会;  倪明阳;  张巍
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：263/101  |  提交时间：2016/07/06
物镜镜组  数值模拟  跌落分析  实验验证  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：274/78  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法