Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 | |
张德福 ; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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| 2017-06-20 | |
| 发表期刊 | 中国科学:技术科学
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| 页码 | 565-581 |
| 摘要 | 结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,阐述了曝光系统设计、光学元件被动支撑、位姿调节、主动变形、元件更换和系统数值孔径调节等物镜光机系统关键技术研究现状,提炼了阻碍物镜未来发展的关键科学技术问题.目前,193nm光刻物镜尚需进一步阐明高阶热像差的产生机理和校正策略,解决多自由度位姿标定问题,形成完备的物镜研制方法,指导高成像质量物镜的制造. |
| 关键词 | 集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| DOI | D8980EF0F6B35B486B1A29F000A1122F |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58486 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德福,李显凌,芮大为,等. 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展[J]. 中国科学:技术科学,2017:565-581. |
| APA | 张德福,李显凌,芮大为,李朋志,东立剑,&张建国.(2017).193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展.中国科学:技术科学,565-581. |
| MLA | 张德福,et al."193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展".中国科学:技术科学 (2017):565-581. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研（2036KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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