Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 可调支撑力对光学元件面形的影响 | |
吴志会 ; 王东平; 华洋洋; 倪明阳; 东立剑
| |
| 2015-12-10 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 期号 | 12页码:186-192 |
| 摘要 | 可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型,利用有限元法计算光学元件的变形,并对光学元件面形进行Zernike多项式拟合。不同工况下分析结果表明:均匀支撑时光学元件面形均方根(RMS)最小,可调支撑力变化时,引入的光学元件面形RMS以及主要Zernike多项式系数均与支撑力线性相关,与光学元件的初始支撑状态无关。建立Fringe Zernike系数随任意支撑力变化的敏感度矩阵,采用该矩阵预测随机工况下光学元件支撑力调整后面形,预测调节面形与有限元仿真调节面形基本一致,RMS误差优于0.3%,为可调支撑装置的设计与装调提供理论依据。 |
| 关键词 | 光学器件 可调支撑结构 面形 有限元法 Zernike多项式 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53944 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴志会,王东平,华洋洋,等. 可调支撑力对光学元件面形的影响[J]. 激光与光电子学进展,2015(12):186-192. |
| APA | 吴志会,王东平,华洋洋,倪明阳,&东立剑.(2015).可调支撑力对光学元件面形的影响.激光与光电子学进展(12),186-192. |
| MLA | 吴志会,et al."可调支撑力对光学元件面形的影响".激光与光电子学进展 .12(2015):186-192. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 可调支撑力对光学元件面形的影响.caj（1472KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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