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| 月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性 期刊论文 激光杂志, 2021, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 24-29 作者: 李云鹏; 陈波; 吕鹏; 杨洪臣; 王华朋 浏览  |  Adobe PDF(1578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:438/77  |  提交时间:2022/06/29 |
| Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53 作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊 浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:440/150  |  提交时间:2021/07/06 原子与分子物理学 分子动力学 反射 再溅射 Mo/Si原子 角度分布 能量分布 |
| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊 浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/69  |  提交时间:2021/07/06 薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30 作者: 王一名; 张超; 孙秀平; 匡尚奇; 杨海贵 收藏  |  浏览/下载:357/0  |  提交时间:2019/09/17 薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀 caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:445/125  |  提交时间:2018/04/09 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 137-144 作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵 caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:407/141  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 347-355 作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀 caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:447/164  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠 收藏  |  浏览/下载:263/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang 浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:370/81  |  提交时间:2017/09/11 |
| 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418 作者: 王珣; 金春水; 李春; 匡尚奇 caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:335/121  |  提交时间:2016/07/06 薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 |