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一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法
张海涛; 于杰; 马冬梅; 金春水
2014-07-09
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2014-07-09
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法,属于光学精密装调技术领域,目的是为实现点衍射干涉仪中聚焦光斑与衍射针孔的精确对准和对准状态实时监控而提供的一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法,该装置包括激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、第三分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维扫描微调整机构、第一激光功率计、第二激光功率计、第三激光功率计、位置探测器和计算机;本发明装置和方法提高了对准速度,监控针孔对准状态时便于快速再次对准;本发明采用一个单独的激光功率计探测激光器功率的变化,采用激光功率的比值而不是绝对值反映对准状态,克服了激光功率变化对针孔对准状态的误判断。
专利号201110449616.3
语种中文
专利状态公开
申请号201110449616.3
PCT属性
专利代理人南小平
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42068
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张海涛,于杰,马冬梅,等. 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法. 201110449616.3[P]. 2014-07-09.
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