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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [5]
作者
金春水 [1]
文献类型
期刊论文 [4]
专利 [1]
发表日期
2014 [5]
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中文 [5]
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光学精密工程 [2]
中国光学 [1]
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光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
caj(1171Kb)
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浏览/下载:332/101
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提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
极小孔径衍射波前测试分析
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者:
邵晶
;
马冬梅
;
张海涛
;
于杰
;
周烽
caj(431Kb)
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浏览/下载:397/88
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提交时间:2015/04/17
光学检测
点衍射干涉仪
相位复原
衍射波前
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:
代晓珂
;
金春水
;
于杰
caj(651Kb)
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浏览/下载:340/97
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提交时间:2015/04/17
光学检测
点衍射干涉仪
波面参考源
误差研究
公差分析
微缩投影系统的计算机辅助装调
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:
谢耀
;
于杰
;
王丽萍
;
王辉
;
周烽
caj(208Kb)
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浏览/下载:349/104
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提交时间:2015/04/17
微缩投影系统
集成装调
计算机辅助装调
敏感度矩阵
奇异值分解
一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:
张海涛
;
于杰
;
马冬梅
;
金春水
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提交时间:2015/02/10