Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 | |
代晓珂; 金春水 ; 于杰
| |
| 2014-10-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 5页码:855-862 |
| 摘要 | 为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°,跳径时偏离系数为0.5%。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。 |
| 关键词 | 光学检测 点衍射干涉仪 波面参考源 误差研究 公差分析 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43418 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代晓珂,金春水,于杰. 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析[J]. 中国光学,2014(5):855-862. |
| APA | 代晓珂,金春水,&于杰.(2014).点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析.中国光学(5),855-862. |
| MLA | 代晓珂,et al."点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析".中国光学 .5(2014):855-862. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析.c（651KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [代晓珂]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [于杰]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [代晓珂]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [于杰]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [代晓珂]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [于杰]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论