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Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Xie, Y.;  L.-P. Wang;  B.-Y. Guo;  J. Wang;  L. Miao;  H. Wang and F. Zhou
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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：353/102  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析