CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
王辉; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
2015-07-10
发表期刊中国激光
期号07页码:267-272
摘要为了测量光学元件多层膜膜厚均匀性指标,基于面形检测对多层膜均匀性测量方法进行了研究。分析了均匀性的测量过程以及影响因素,评估了元件面形检测复现性对测量结果的影响,建立了多层膜结构的有限元模型,计算分析膜层内应力对基底面形带来的影响。基于高复现性面形检测装置进行了测量方法的实验验证工作,实验结果表明:元件面形测量口径范围内膜厚分布均匀性优于0.1 nm[均方根(RMS)值];将测试结果转化为沿径向的轮廓分布结果,与基于反射率计的膜厚检测数据进行了对比,表明两种方法测试数据基本吻合,验证了基于面形检测方法评估光学元件多层膜均匀性的可行性。
关键词测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53816
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王辉,周烽,喻波,等. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光,2015(07):267-272.
APA 王辉.,周烽.,喻波.,谢耀.,于杰.,...&王丽萍.(2015).基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量.中国激光(07),267-272.
MLA 王辉,et al."基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量".中国激光 .07(2015):267-272.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量.(1280KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[王辉]的文章
[周烽]的文章
[喻波]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[王辉]的文章
[周烽]的文章
[喻波]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[王辉]的文章
[周烽]的文章
[喻波]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量.caj
格式: caj
此文件暂不支持浏览
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。