Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 | |
王辉 ; 周烽; 喻波; 谢耀; 于杰; 刘钰; 王丽萍
| |
| 2015-07-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 07页码:267-272 |
| 摘要 | 为了测量光学元件多层膜膜厚均匀性指标,基于面形检测对多层膜均匀性测量方法进行了研究。分析了均匀性的测量过程以及影响因素,评估了元件面形检测复现性对测量结果的影响,建立了多层膜结构的有限元模型,计算分析膜层内应力对基底面形带来的影响。基于高复现性面形检测装置进行了测量方法的实验验证工作,实验结果表明:元件面形测量口径范围内膜厚分布均匀性优于0.1 nm[均方根(RMS)值];将测试结果转化为沿径向的轮廓分布结果,与基于反射率计的膜厚检测数据进行了对比,表明两种方法测试数据基本吻合,验证了基于面形检测方法评估光学元件多层膜均匀性的可行性。 |
| 关键词 | 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53816 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王辉,周烽,喻波,等. 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量[J]. 中国激光,2015(07):267-272. |
| APA | 王辉.,周烽.,喻波.,谢耀.,于杰.,...&王丽萍.(2015).基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量.中国激光(07),267-272. |
| MLA | 王辉,et al."基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量".中国激光 .07(2015):267-272. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量.（1280KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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