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TFT5次光刻背沟道刻蚀型与保护型工艺 期刊论文
半导体技术, 2008, 期号: 12
作者:  辛玉洁;  于春崎
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/70  |  提交时间：2012/09/25
薄膜晶体管  5次光刻  背沟道刻蚀型  背沟道保护型  A-si岛