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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
吴越; 王丽萍; 于杰; 张旭; 金春水
2021-11-15
Source Publication中国光学
Volume14Issue:06Pages:1435-1450
Abstract满足像差平衡和多约束控制的初始结构构建,是实现极小像差离轴多反光学系统的设计关键。本文基于空间光线追迹与像差矫正相结合的分组设计方法建立离轴多反的初始结构计算数学模型,提出了一种改进的粒子群算法用以解决离轴多反光学系统的初始结构问题,采用带收缩因子的自然选择的粒子群算法提高了计算精度,提升了设计效率,获取了离轴多反光学系统的初始结构。最后,本文以离轴六反的极紫外光刻投影物镜为例,验证此方法的可靠性和有效性,实现了 0.33NA极紫外光刻物镜综合波像差优于1/80λ RMS光学系统设计。
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66039
Collection中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Affiliation1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
吴越,王丽萍,于杰,等. 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计[J]. 中国光学,2021,14(06):1435-1450.
APA 吴越,王丽萍,于杰,张旭,&金春水.(2021).基于粒子群算法离轴多反光学系统设计.中国光学,14(06),1435-1450.
MLA 吴越,et al."基于粒子群算法离轴多反光学系统设计".中国光学 14.06(2021):1435-1450.
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