Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 | |
吴越; 王丽萍 ; 于杰; 张旭; 金春水
| |
| 2021-11-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 卷号 | 14期号:06页码:1435-1450 |
| 摘要 | 满足像差平衡和多约束控制的初始结构构建,是实现极小像差离轴多反光学系统的设计关键。本文基于空间光线追迹与像差矫正相结合的分组设计方法建立离轴多反的初始结构计算数学模型,提出了一种改进的粒子群算法用以解决离轴多反光学系统的初始结构问题,采用带收缩因子的自然选择的粒子群算法提高了计算精度,提升了设计效率,获取了离轴多反光学系统的初始结构。最后,本文以离轴六反的极紫外光刻投影物镜为例,验证此方法的可靠性和有效性,实现了 0.33NA极紫外光刻物镜综合波像差优于1/80λ RMS光学系统设计。 |
| URL | 查看原文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/66039 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴越,王丽萍,于杰,等. 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计[J]. 中国光学,2021,14(06):1435-1450. |
| APA | 吴越,王丽萍,于杰,张旭,&金春水.(2021).基于粒子群算法离轴多反光学系统设计.中国光学,14(06),1435-1450. |
| MLA | 吴越,et al."基于粒子群算法离轴多反光学系统设计".中国光学 14.06(2021):1435-1450. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计.pd（2477KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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