Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 | |
代晓珂; 金春水 ; 王丽萍; 于杰
| |
| 2014-11-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
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| 期号 | 11页码:136-142 |
| 摘要 | 极紫外光刻光学检测通常使用光纤点衍射干涉仪,光纤衍射的圆偏振态光束可以提高干涉条纹的对比度、减小衍射球面波的像散,对于提高检测精度有十分重大意义。用穆勒矩阵分析了相位控制型偏振控制器的工作原理,得到只需两个控制通道就可以调控到圆偏振态的结论。设计了光纤点衍射干涉仪球面参考源的偏振控制系统,并用琼斯矩阵分析了光束经过偏振控制系统后的光强变化,得到光强最小时两个控制通道的控制电压。在理论分析基础上搭建了球面参考源的偏振控制系统,获得了圆偏振态所需的控制电压,并将其输入偏振控制器调控得到圆偏振光,实验结果表明此方法可以在不引入额外误差的同时,快速地实现圆偏振态的调节,并且理论计算与实际的误差不超过7.5%,证明了该方法的可行性。 |
| 关键词 | 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43066 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代晓珂,金春水,王丽萍,等. 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计[J]. 光学学报,2014(11):136-142. |
| APA | 代晓珂,金春水,王丽萍,&于杰.(2014).光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计.光学学报(11),136-142. |
| MLA | 代晓珂,et al."光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计".光学学报 .11(2014):136-142. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统（1171KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |||
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