Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高复现性面形检测支撑装置研制 | |
王辉 ; 于杰; 周烽; 王丽萍
| |
| 2012-11-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 11页码:136-140 |
| 关键词 | 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27516 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王辉,于杰,周烽,等. 高复现性面形检测支撑装置研制[J]. 中国激光,2012(11):136-140. |
| APA | 王辉,于杰,周烽,&王丽萍.(2012).高复现性面形检测支撑装置研制.中国激光(11),136-140. |
| MLA | 王辉,et al."高复现性面形检测支撑装置研制".中国激光 .11(2012):136-140. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高复现性面形检测支撑装置研制.caj（551KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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