Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 | |
谢耀 ; 于杰; 王丽萍; 王辉; 周烽
| |
| 2014-08-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 8页码:2103-2108 |
| 摘要 | 为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法。建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实验。用光学软件CODE V建立了光学系统模型,采用零位补偿器检测获得了非球面元件面形;基于灵敏度矩阵的分析结果指导微缩投影系统优化,并将优化后的结构参数作为系统光机结构机械装配和定位的基准。新建立的系统装调模型更接近实际装调过程,能更有效地指导装调,解决了补偿器间的耦合问题,加快了装调过程的收敛。最后,基于自行研发的高精度干涉仪完成了计算机辅助装调实验。实验显示系统波像差由46.39nmRMS收敛至20.73nmRMS,验证了装调算法和模型的准确性。 |
| 关键词 | 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42987 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢耀,于杰,王丽萍,等. 微缩投影系统的计算机辅助装调[J]. 光学精密工程,2014(8):2103-2108. |
| APA | 谢耀,于杰,王丽萍,王辉,&周烽.(2014).微缩投影系统的计算机辅助装调.光学精密工程(8),2103-2108. |
| MLA | 谢耀,et al."微缩投影系统的计算机辅助装调".光学精密工程 .8(2014):2103-2108. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 微缩投影系统的计算机辅助装调.caj（208KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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