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碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/115  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率  
基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者:  周祥燕;  张超;  匡尚奇;  龚学鹏;  杨海贵
caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/127  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  薄膜表征  量子衍生遗传算法  掠入射x射线反射  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/120  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
杂质诱导磷锗锌晶体光学薄膜激光损伤的研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 06, 页码: 224-231
作者:  郝明明;  路国光;  汪丽娜;  秦莉;  朱洪波;  刘夏
caj(1644Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/125  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  激光损伤  杂质诱导  磷锗锌晶体  有限元仿真  
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/126  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：532/102  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  沉积温度  热蒸发  Laf3  光学损耗  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学常数的表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 160-163
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/143  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  光学常数  热蒸发  Laf3  折射率  不均匀性  
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：524/133  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
在ZnO/Si衬底上ZnCdSe/ZnSe多量子阱的生长与光学特性 期刊论文
中国激光, 2004, 期号: 03, 页码: 297-300
作者:  王晓华;  范希武;  单崇新;  张振中;  刘益春
caj(58Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/84  |  提交时间：2013/03/11
薄膜物理学  Si衬底  Zncdse/znse量子阱  低压金属有机化学气相淀积