|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 印制电路板低温等离子体表面改性工艺 期刊论文
电镀与涂饰, 2022, 卷号: 41, 期号: 19, 页码: 1398-1402
作者: 王治伟; 王军; 杨涛; 王慧
 Adobe PDF(1238Kb) |  收藏 | 浏览/下载：109/48 | 提交时间：2023/05/18 |
| 基于通信协议的接口测试用例自动生成框架 期刊论文
测控技术, 2020, 卷号: 39, 期号: 01, 页码: 46-54
作者: 刘逻; 郭立红 ; 陈媛; 王俊杰
 浏览 |  Adobe PDF(451Kb) | 收藏 | 浏览/下载：129/59 | 提交时间：2021/07/06
接口测试 自动生成框架 输入模型 关联矩阵 生成算法 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
caj(411Kb) | 收藏 | 浏览/下载：382/124 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
caj(173Kb) | 收藏 | 浏览/下载：334/111 | 提交时间：2018/04/09
薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
浏览 | Adobe PDF(284Kb) | 收藏 | 浏览/下载：344/104 | 提交时间：2018/06/13 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
浏览 | Adobe PDF(603Kb) | 收藏 | 浏览/下载：306/106 | 提交时间：2018/06/13 |
| Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者: Wang, X.; C. Jin; C. Li and S. Kuang
Adobe PDF(1950Kb) | 收藏 | 浏览/下载：285/103 | 提交时间：2016/08/24 |
| 远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 韩素立
Adobe PDF(3119Kb) | 收藏 | 浏览/下载：378/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：436/1 | 提交时间：2014/08/21 |
