Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 | |
喻波 ; 李春; 金春水
| |
| 2011-11-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 11页码:220-225 |
| 关键词 | 薄膜 Mo/si多层膜 扩散系数 掠入射x射线反射谱 四层模型 极紫外 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27759 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 喻波,李春,金春水. 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量[J]. 中国激光,2011(11):220-225. |
| APA | 喻波,李春,&金春水.(2011).基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量.中国激光(11),220-225. |
| MLA | 喻波,et al."基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量".中国激光 .11(2011):220-225. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于掠入射X射线反射谱的Mo_Si多层膜（458KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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