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激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/124  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  杨添星
Adobe PDF(11650Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/3  |  提交时间：2014/03/15
均匀性  投影光刻物镜  光线追迹  光学设计