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P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:344/2  |  提交时间:2014/08/21
ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:279/74  |  提交时间:2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:530/102  |  提交时间:2013/03/11
薄膜  沉积温度  热蒸发  Laf3  光学损耗  
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学常数的表征 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 160-163
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  靳京城
caj(435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:492/135  |  提交时间:2013/03/11
薄膜  光学常数  热蒸发  Laf3  折射率  不均匀性  
紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  靳京城;  常艳贺
Adobe PDF(534Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:540/108  |  提交时间:2012/08/29
一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  常艳贺;  靳京城
Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:537/64  |  提交时间:2012/08/29
ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  靳京城
Adobe PDF(1152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:470/74  |  提交时间:2012/08/29
辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  邓文渊;  金春水;  常艳贺;  靳京城
Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:484/66  |  提交时间:2012/08/29
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27
作者:  邓文渊;  金春水;  靳京城
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:501/64  |  提交时间:2013/03/11
激光器  Arf准分子激光器  Caf2衬底  激光量热吸收  表面粗糙度  光谱术